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Hafnium(Ⅳ) acetylacetonate
乙酰丙酮鉿 | 戊二酮酸鉿
產(chǎn)品編號: H811050 CAS 號: 17475-67-1 純度: 97%，鉿含量 %：≥29.5%。理化性質(zhì)：乙酰丙酮鉿為白色結(jié)晶狀粉末，易溶于甲醇、乙醇、氯仿、苯、甲苯、乙醚等常規(guī)有機溶劑，遇水水解。應用以Hf(acac)4為前驅(qū)體制備的HfO2薄膜具有高熔點（約2758°C)，高的介電常數(shù)（約25)等優(yōu)異的物理化學性能，在高溫保護涂層、光學涂層、柵介質(zhì)材料、傳感器等Chemicalbook領域具有廣泛的應用前景。特別是由于HfO2具有高的k值、寬的帶隙（5.7ev)，與Si接觸較好的熱力學穩(wěn)定性和良好的晶格匹配特性，是替代傳統(tǒng)SiO2柵介質(zhì)材料的理想化合物。
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